Siliciumcarbid
Die Eigenschaften von Siliciumkarbid SilCor®SiC
- Klassifikation gemäß VDI-Richtlinie 2840
»Kohlenstoffschichten - Grundlagen, Schichttypen und Eigenschaften« - modifizierte wasserstoffhaltige amorphe Kohlenstoffschicht (Schicht 2.7, a-C:H:X)
- Herstellungsverfahren
- Plasmachemische Gasphasenabscheidung (PCVD, PECVD, PACVD)
- Depositionstemperatur: typisch T=160 Grad Celsius (alternativ 45 bis 400 Grad Celsius)
- Chemische Zusammensetzung
- (Beschichtung bei einer Temperatur von 280 Grad Celsius und spezifischem Gasgemisch)
- 18 at% Si, 44 at% C, 1 at% O, 37 at% H (SIMS Tiefenprofil, Analyse integral)
- Mechanische Eigenschaften (a-Si0.18C0.44:H)
- Herstellbare Schichtdicke: 20 nm - 50 µm
- weitere Angaben für typische Dicke von 3 µm:
- Oberflächenrauheit: 0,02 µm
- Universalhärte: U_H = 20 GPa
- Vickershärte: HV (0,01) = 2100
- Elastizitätsmodul: E = 145 GPa
- Elastische Deformation: W_E/P = 72 %
- Eigenspannung auf Si-Substrat: s = 0,12 GPa
- Reibungskoeffizient (Stahl trocken): µ = 0,17
- Dichte: rho = 2,4 g/cm^3
- Physikalisch-chemische Eigenschaften
- spezifischer elektrischer Widerstand: 10^13 Ωcm
- Morphologie: Amorph
- Temperaturbeständigkeit: bis 500 Grad Celsius
- Chemische Resistenz: Resistent gegen Säuren, Laugen, Salze und oxidierende Medien
- Entschichtung: plasmachemisch
Transmissionsspektrum einer SiC Schicht im sichtbaren und nahem infraroten Spektralbereich (VIS / NIR). Je nach Gehalt an Silicium (und gegebenenfalls auch Sauerstoff) sind die Schichten weitgehend transparent. Durch Interferenzen von Licht, das an der Schichtoberseite bzw. Unterseite reflektiert wird, entstehen in Abhängigkeit von der Schichtdicke Minima und Maxima in der Transmission, die visuell als farbiges Schillern ("changieren") erscheinen.
Erläuterungen zu den Eigenschaften:
Die angegebenen Werte beziehen sich auf Messungen an ausgewählten, typischen Probekörpern. Wegen der im Plasma bekannten Geometrieeffekte können die gemessenen Eigenschaften insbesondere in Abhängigkeit von der Größe der Substrate variieren. Zur genauen Bestimmung der Schichteigenschaften am spezifischen Beschichtungsgut soll unbedingt eine Bemusterung im Kundenauftrag erfolgen.