Chromnitrid
Die Eigenschaften von SilCor®CrN
- Chemische Zusammensetzung
- Unterschicht: Chrom
- Hauptschicht: Cr, N (optimiertes Verhältnis), O
- Mechanische Eigenschaften
- Dicke: 1 - 10 µm, typisch 3 µm (Gesamtschicht)
- Oberflächenrauheit: ca. 0,07 µm
- Universalhärte: U_H = 24 GPa
- Vickershärte: HV(0.01) = 2100
- Elastizitätsmodul: E = 250 GPa
- Elastische Deformation: W(E/P) = 55 %
- Mechanische Spannung: s = - 0,3 GPa (auf Si-Substrat)
- Reibungskoeffizient (gegen Stahl - trocken): 0,51
- Dichte: rho = 6,1 g/cm^3
- Physikalisch-chemische Eigenschaften
- spezifischer elektrischer Widerstand: 10^-2 Ωcm
- Morphologie: Nanokristallin, Korngrößen ca. 20 nm
- Temperaturbeständigkeit: bis 700 ºC
- Chemische Resistenz: Resistent gegen Säuren, Laugen, Salze und oxidierende Medien
- Entschichtung: naßchemische Lösungen
- Härtemessung mit Nanoindenter:
- Ein Vickersdiamant wird mit einer definiert steigenden Last beaufschlagt und die entstehende Eindringtiefe gemessen (grüne Kurve). Nach Reduzierung der Kraft auf Null verbleibt wegen des elastischen Anteils der Deformation ein Eindruck, der deutlich geringer ist als die maximale Eindringtiefe (rote Kurve). Aus der Messkurve lassen sich makroskopische Materialparameter berechnen, die für die Einzelmessung beispielhaft mitgeschrieben sind.
Erläuterungen: Die angegebenen Werte beziehen sich auf Messungen an CrN-Schichten mit für die Härte optimierter Stöchiometrie. Es werden definiert ausgewählte Probekörper eingesetzt. Wegen der im Plasma bekannten Geometrieeffekte können die gemessenen Eigenschaften insbesondere in Abhängigkeit von der Größe der Substrate variieren. Zur genauen Bestimmung der Schichteigenschaften am spezifischen Beschichtungsgut soll unbedingt eine Bemusterung im Kundenauftrag erfolgen.